Компания JEOL предлагает своим заказчикам модельный ряд систем для электронно-лучевой литографии, включающий в себя как лабораторные высокоточные, так и промышленные высокопроизводительные системы.

• Компактная система электронно-лучевой литографии для работы с 4-дюймовыми подложками (JBX-5500FS)>>
• Система электронно-лучевой литографии высокого разрешения для работы с 8-дюймовыми подложками (JBX-6300FS)>>
• Высокопроизводительная система электронно-лучевой литографии для работы с 12-дюймовыми подложками (JBX-9300FS)>>
• Система электронно-лучевой литографии с изменяемой формой луча для производства фотошаблонов (JBX-3050MV)>>