JBX-6300FS – это промышленная система электронно-лучевой литографии, предназначенная для  производства субмикронных и наноразмерных полупроводниковых устройств.  Система может работать с пластинами из различных материалов диаметром до 203,2 мм (8″) включительно, позволяет генерировать изображения с частотой 25 МГц и динамическим диапазоном 19 бит, обладает высокой надежностью и простотой управления.

Для удобства и быстроты работы, в JBX-6300FS реализовано 2 режима литографии: высокоскоростной (4-линзовый) и нанолитографический (5-тилинзовый).

Основные технические характеристики: