Система для производства фотошаблонов JBX-3050MV
В связи с ростом производства микросхем с высокими степенями интеграции, растет потребность мировой полупроводниковой промышленности в высокоточных высокопроизводительных системах производства фотошаблонов. Компания JEOL, являеющаяся лидером по производству промышленных систем электронно-лучевой литографии, следуя новейшим мировым тенденциям, выпустила новую модель – JBX-3050MV.
JBX-3050MV обладает высокими однородностью и плотностью пучка (до 40А/см2), возможностью изменять форму пучка, проводить векторное сканирование. Данная система вобрала все лучшие качества предыдущих моделей, включая лидера продаж десятилетия – JBX-3040MV. Она отличается высокой надежностью и производительностью, и, благодаря этому, за столь короткий период прекрасно себя зарекомендовала на ведущих предприятиях мира.
Основные технические характеристики:
| Форма пучка | Изменяемая |
| Сканирование | вектроное |
| Ускоряющее напряжение | 50кВ |
| Плотность тока | 40А/см2 |
| Однородность | не более 3,5 нм (3σ) |
| Точность позиционирования | не более 7 нм (3σ) |