Сканирующий зондовый микроскоп JSPM-5200
JSPM-5200 – это простой в управлении многофункциональный высокоразрешающий сканирующий зондовый микроскоп, позволяющий проводить исследования образцов различными методами в различных средах. В его камере образцы можно изучать и в воздушной среде, и в контролируемой атмосфере, и в жидкости, и в вакууме, при температурах от -143° C до +500° C. JSPM-5200 может также проводить серии заданных измерений, включая комбинации сигналов разного типа и быстрые переключения режимов работы. Открытая архитектура данного прибора предоставляет достаточное количество многофункциональных портов и возможность быстрого доступа к зонду. JSPM-5200 может быть переконфигурирован в атомно-силовой микроскоп (АСМ), либо в сканирующий туннельный микроскоп (СТМ) простой сменой «головки». СТМ-режим включает в себя: CITS, I-V, S-V, и I-S. Стандартные режимы АСМ включают контактную микроскопию, микроскопию сил трения, токовое картирование, безконтактную и дискретную контактную микроскопию с детекцией как касания, так и частоты, а также фазовое картирование. Запатентованный бездрейфовый столик обеспечивает крайне высокую стабильность всей системы построения изображений.
Основные технические характеристики:
| Разрешение | атомное |
| Дрейф столика | не более 0,05 нм/с |
| Режимы измерений | АСМ контактный режим:
Топографическое изображение, силовое изображение, изображение сил трения, силовые кривые, кривые сил трения, изображение в контактных токах, картирование методами СЗС. Импульсный режим: Топографическое изображение, фазовое изображение, амплитудное изображение, картирование углов наклона кантилевера, фазовая модуляция, поточечный режим. Сканирующий туннельный режим: Топографическое изображение, токовое картирование, CITS, I-V, S-V, I-S. |
| Диапазон сканирования | XY: от 0 до 10 мкм (стандартное устройство сканирования); Разрешение: 25 бит (включая офсет)
Z: от 0 до 3 мкм (стандартное устройство сканирования); Разрешение: 21 бит (при усилении x32) |
| Определение сил | Оптически (лазерный источник света, 4-хсегментный фотодетектор) |
| Туннельный ток | от 30пА до 1мкА |
| Атомно-силовой зонд | На стандартных коммерческих кантилеверах |
| Сканирующий туннельный зонд | Проволока диаметром 0,2-0,3 мм |
| Размер образца | XY: до 50 миллиметров квадратных
Z: до 4 миллиметров толщиной |
| Грубая постройка столика | XY: ±3 мм
Z: ручная подстройка до 5 мм (включая механизм точного приближения, подстраиваемый в пределах 1,5 мм) |
| Порты | Ввода газа и подачи разряда, вакуумной откачки, азотный холодопровод, 2 дополнительных порта |
| Диапазон температур образца | от 130 до 773 К |
| Уровень вакуума | не хуже 10-3 Па |
| Виброизоляция | Пневмоподвеска, гелевый демпфер |