Растровый электронный микроскоп JEOL JSM-7600F
JSM-7600F – новейшая модель в линейке сканирующих электронных микроскоп JEOL, в которой реализованы все последние достижения в технологии электронной оптики JEOL. Термополевой катод (Шоттки), объективная линза с низкими аберрациями и высокая стабильность обеспечивают высокое разрешение и тонкий зонд даже при высоких токах пучка (свыше 200нА при 15кВ). Это идеальное решение для исследования и анализа наноструктур.
Многозадачный, высокоэффективный СЭМ с низким энергопотреблением (1,2 кВА) снабжен уникальной комбинацией пушки «In-lens» , позволяющей эффективно собирать все электроны и поддерживать высокий ток пучка, подогревного автоэмиссионного катода и линзы с оптимальным углом апертуры для формирования тонкого зонда, даже при высоких токах. Встроенный r-фильтр позволяет смешивать сигналы детекторов вторичных и отраженных электронов, делая анализ изображений еще более эффективным. Маленький размер зонда гарантируется даже при низких ускоряющих напряжениях и высоких токах. На колонну микроскопа могут быть установлены все типы аналитических приставок, например, EDS, WDS, EBSD, CL. Маленький диаметр зонда и оптимальные условия позволяют элементный анализ образцов с размерами анализируемой области в несколько десятков нанометров.
- Система “Gentle Beam” позволяет уменьшить заряд на непроводящих образцах и изучать их с высоким разрешением при низких ускоряющих напряжениях.
- Нижний детектор отраженных электронов (опция)
- Полностью автоматизированная электронная пушка.
- Неограниченное число специальных настроек микроскопа, которые можно сохранять и использовать.
- Удобное управление столиком с помощью трекбола, кнопок или мыши, на выбор.
- Получение до четырех типов изображений одновременно, в реальном времени.
| Пространственное разрешение | 1,0 нм при 15 кВ,1,5 нм при 1 кВ в режиме GB2,5нм при 1кВ в РЭМ режиме3нм при 15 кВ, на рабочем отрезке 8мм и токе зонда 5нА (режим анализа). |
| Электронная пушка | термополевая, типа Шоттки |
| Ускоряющее напряжение | от 0,1кВ до 30 кВ |
| Диапазон токов пучка | от 10-12 до 2*10-7 A |
| Диапазон увеличений | от х25 до х1000 000 |
| Столик образцов | большой, эвцентрического типа, диапазон перемещений:Х:70мм, Y:50мм, Z: от 1,5 до 25 мм. Наклон от -5 до +70 градусов. Вращение 360 градусов. |
| Операционная система | MS Windows XP |