Растровый электронный микроскоп JEOL JSM-7600F

jsm7600FJSM-7600F – новейшая модель в линейке сканирующих электронных микроскоп JEOL, в которой реализованы все последние достижения в  технологии электронной оптики JEOL. Термополевой катод (Шоттки), объективная линза с низкими аберрациями и высокая стабильность обеспечивают высокое разрешение и тонкий зонд даже при высоких токах пучка (свыше 200нА при 15кВ). Это идеальное решение для исследования и анализа наноструктур.

Многозадачный, высокоэффективный СЭМ с низким энергопотреблением (1,2 кВА) снабжен уникальной комбинацией пушки «In-lens» , позволяющей эффективно собирать все электроны и поддерживать высокий ток пучка, подогревного автоэмиссионного катода и линзы с оптимальным углом апертуры для формирования тонкого зонда, даже при высоких токах. Встроенный r-фильтр позволяет смешивать сигналы детекторов вторичных и отраженных электронов, делая анализ изображений еще более эффективным. Маленький размер зонда гарантируется даже при низких ускоряющих напряжениях и высоких токах. На колонну микроскопа могут быть установлены все типы аналитических приставок, например, EDS, WDS, EBSD, CL. Маленький диаметр зонда и оптимальные условия позволяют элементный анализ образцов  с размерами анализируемой области в несколько десятков нанометров.

  • Система “Gentle Beam”  позволяет уменьшить заряд на непроводящих образцах и изучать их с высоким разрешением при низких ускоряющих напряжениях.
  • Нижний детектор отраженных электронов (опция)
  • Полностью автоматизированная электронная пушка.
  • Неограниченное число специальных настроек микроскопа, которые можно сохранять и использовать.
  • Удобное управление столиком с помощью трекбола, кнопок или мыши, на выбор.
  • Получение до четырех типов изображений одновременно, в реальном времени.
Пространственное разрешение 1,0 нм при 15 кВ,1,5 нм при 1 кВ в режиме GB2,5нм при 1кВ в РЭМ режиме3нм при 15 кВ, на рабочем отрезке 8мм и токе зонда 5нА (режим анализа).
Электронная пушка термополевая, типа Шоттки
Ускоряющее напряжение от 0,1кВ до 30 кВ
Диапазон токов пучка от 10-12 до 2*10-7 A
Диапазон увеличений от х25 до х1000 000
Столик образцов большой, эвцентрического типа, диапазон перемещений:Х:70мм, Y:50мм, Z: от 1,5 до 25 мм. Наклон  от -5 до +70 градусов. Вращение 360 градусов.
Операционная система MS Windows XP