Растровый электронный микроскоп JEOL JSM-7500F

jsm7500FJSM-7500F – автоэмиссионный сканирующий электронный микроскоп ультравысокого разрешения. Данный прибор уникален тем, что даже при низком ускоряющем напряжении он обеспечивает сверхвысокое разрешение (1,4нм при 1кВ). Это делает JSM-7500F прекрасным инструментом для анализа текстуры наноструктурных объектов, особенно тех, которые чувствительны к воздействию электронных пучков.

Низкая чувствительность к вибрациям пола и акустическим шумам существенно снижают требования по подготовке помещения для установки JSM-7500F. Полностью обновленный интерфейс позволит даже начинающим операторам автоэмиссионных растровых микроскопов чувствовать себя уверенно рядом с данным прибором и получать хорошие результаты.

Особенности прибора:

  • Режим регистрации электронов, отраженных под малыми углами (LABE, запатентован JEOL):
    1. снимает эффект зарядки образца;
    2. позволяет регистрировать отраженные электроны малых энергий;
    3. дает более полную информацию о мелких деталях поверхности и композиционном контрасте.
  • Одновременное наблюдение 4 разных сигналов с 16-битным динамическим диапазоном.
  • r-фильтр позволяет проводить фильтрацию по энергиям вторичных и отраженных электронов.
  • Система “Gentle Beam”  позволяет уменьшить заряд на непроводящих образцах и изучать их с высоким разрешением при низких ускоряющих напряжениях.
  • Автоматическая замена образцов (опция).
  • Выдвижной детектор отраженных электронов.
  • 5-тиосевой моторизованный столик образцов с автоматической защитой.
Пространственное разрешение 1,0 нм при 15 кВ;  1,4 нм при 1 кВ;0,6 нм при 30 кВ (достижимо)
Электронная пушка с холодным катодом на полевой эмиссии
Ускоряющее напряжение от 0,1кВ до 30 кВ
Диапазон токов пучка от 10-12 до 2*10-9 A
Диапазон увеличений от х25 до х1 000 000 (в пересчете на фотопластину 9 см*12 см)
Столик образцов большой, эвцентрического типаДиапазон перемещений:

 

Тип 1: Х:70мм, Y:50мм, Z: 37,5мм. Наклон  от -5 до +70 градусов. Вращение 360 градусов.

Тип 2: Х:110мм, Y:80мм, Z: 23,5мм. Наклон  от -5 до +70 градусов. Вращение 360 градусов.

Тип 3: Х:140мм, Y:80мм, Z: 23,5мм. Наклон  от -5 до +70 градусов. Вращение 360 градусов.

Максимальный размер образца
диаметром до 200 мм, высотой до 10 мм