Растровый электронный микроскоп JEOL JSM-7500F
JSM-7500F – автоэмиссионный сканирующий электронный микроскоп ультравысокого разрешения. Данный прибор уникален тем, что даже при низком ускоряющем напряжении он обеспечивает сверхвысокое разрешение (1,4нм при 1кВ). Это делает JSM-7500F прекрасным инструментом для анализа текстуры наноструктурных объектов, особенно тех, которые чувствительны к воздействию электронных пучков.
Низкая чувствительность к вибрациям пола и акустическим шумам существенно снижают требования по подготовке помещения для установки JSM-7500F. Полностью обновленный интерфейс позволит даже начинающим операторам автоэмиссионных растровых микроскопов чувствовать себя уверенно рядом с данным прибором и получать хорошие результаты.
Особенности прибора:
- Режим регистрации электронов, отраженных под малыми углами (LABE, запатентован JEOL):
- снимает эффект зарядки образца;
- позволяет регистрировать отраженные электроны малых энергий;
- дает более полную информацию о мелких деталях поверхности и композиционном контрасте.
- Одновременное наблюдение 4 разных сигналов с 16-битным динамическим диапазоном.
- r-фильтр позволяет проводить фильтрацию по энергиям вторичных и отраженных электронов.
- Система “Gentle Beam” позволяет уменьшить заряд на непроводящих образцах и изучать их с высоким разрешением при низких ускоряющих напряжениях.
- Автоматическая замена образцов (опция).
- Выдвижной детектор отраженных электронов.
- 5-тиосевой моторизованный столик образцов с автоматической защитой.
| Пространственное разрешение | 1,0 нм при 15 кВ; 1,4 нм при 1 кВ;0,6 нм при 30 кВ (достижимо) |
| Электронная пушка | с холодным катодом на полевой эмиссии |
| Ускоряющее напряжение | от 0,1кВ до 30 кВ |
| Диапазон токов пучка | от 10-12 до 2*10-9 A |
| Диапазон увеличений | от х25 до х1 000 000 (в пересчете на фотопластину 9 см*12 см) |
| Столик образцов | большой, эвцентрического типаДиапазон перемещений:
Тип 1: Х:70мм, Y:50мм, Z: 37,5мм. Наклон от -5 до +70 градусов. Вращение 360 градусов. Тип 2: Х:110мм, Y:80мм, Z: 23,5мм. Наклон от -5 до +70 градусов. Вращение 360 градусов. Тип 3: Х:140мм, Y:80мм, Z: 23,5мм. Наклон от -5 до +70 градусов. Вращение 360 градусов. |
| Максимальный размер образца |
диаметром до 200 мм, высотой до 10 мм |