JSM-7001F – сканирующий электронный микроскоп с катодом Шоттки.

Идеальное решение для исследования и анализа наноструктур  Многозадачный, высокоэффективный СЭМ с низким энергопотреблением (2 кВА) снабжен уникальной комбинацией пушки «In-lens» , позволяющей эффективно собирать все электроны и поддерживать высокий ток пучка, подогревного автоэмиссионного катода и линзы с оптимальным углом апертуры для формирования тонкого зонда, даже при высоких токах (до 200nA). Это  разработка Jeol,  позволяет поддерживать высокий ток пучка  с высокой стабильностью, что эффективно для EBSP, WDS и CL анализов, и одновременно получать изображения высокого разрешения в широком диапазоне увеличений. При этом нет необходимости менять апертуру. Маленький размер зонда гарантируется даже при низких ускоряющих напряжениях и высоких токах. Уникальные характеристики микроскопа  позволяют использовать его в качестве электронного литографа, оснащая прибор соответствующими устройствами, такими, как   “electron beam blanker” и “pattern generator (опция).

• На колонну микроскопа могут быть установлены все типы аналитических приставок, например, EDS, WDS, EBSD, CL, EBIC. Маленький диаметр зонда и оптимальные условия позволяют элементный анализ образцов  с размерами анализируемой области в несколько десятков нанометров. Детектор тока пучка вставляется в колонну микроскопа ниже апертуры объективной линзы, что позволяет контролировать ток пучка в любое время в ходе анализа.
• Система “Gentle Beam”  позволяет уменьшить заряд на непроводящих образцах и изучать их с высоким разрешением.
• Магнитное поле не выходит за пределы суперконической объективной линзы, так что могут исследоваться даже магнитные образцы большого размера.
• Самая маленькая  апертура объективной линзы обеспечивает ток пучка 10 нА, что эффективно для  элементного анализа с помощью EDS и EBSD.
• Полностью автоматизированная электронная пушка.
• Детектор для работы в STEM режиме (опция).
• Нано манипулятор (опция). Возможна установка нескольких манипуляторов.