Растровый электронный микроскоп JEOL JSM-6701F

jsm6701FJSM-6701F – сканирующий электронный микроскоп  с холодной полевой эмиссией катода и высоким разрешением.

Холодный катод, ультравысокий вакуум в пушке (10-8 Па) и конструкция объективной линзы “Semi In-Lens” (разработка JEOL) позволяют получать высокое разрешение в широком диапазоне ускоряющих напряжений и токов пучка. Объективная линза “Semi In-Lens”, за счёт эффективного сбора всех электронов, обеспечивает  в десять раз больший ток пучка, по сравнению с традиционной архитектурой, а также  высокое разрешение даже на больших образцах.  Кроме того, появилась возможность исследовать чувствительные к пучку  образцы с высоким разрешением на минимальных токах и/или ускоряющем напряжении, не теряя высокого разрешения.  В тоже время, на устойчивых к повреждению пучком образцах,  Вы можете работать с высокими токами, повышая тем самым контраст изображения без ухудшения его четкости.  Непроводящие образцы можно смотреть без предварительного покрытия проводящей плёнкой. Уникальная конструкция пушки позволяет менять ускоряющее напряжение просто путем выбора нужного значения из меню. Юстировка производится автоматически. Изучение внутренней структуры тонких образцов возможно в просвечивающем STEM режиме (опция).

  • Живая высококачественная картинка на любых скоростях сканирования.
  • Образцы до 200мм в диаметре.
  • Полностью автоматизированная система электронной оптики.
  • Максимальный ток пучка  2 нА достигается без смены  апертуры.
  • Высокостабильный эвцентрический столик  образцов с моторизованным управлением.
  • Шлюзовой механизм смены  образцов.

Графический интерфейс позволяет легко устанавливать рабочие настройки, управлять движением моторизованного держателя, строить изображения, гарантируя стабильную и надёжную работу.

Пространственное разрешение 1,0 нм при 15 кВ,2,2 нм при 1 кВ
Электронная пушка с холодным катодом на полевой эмиссии
Ускоряющее напряжение от 0,5кВ до 20 кВ
Диапазон токов пучка от 10-13 A до 2х10-9А
Диапазон увеличений от х25 до х650 000
Максимальный размер образца диаметр до 150 мм, высота до 43 мм
Катод Шоттки
Столик образцов большой, эвцентрического типа, диапазон перемещений:по координатам: Х:70 мм, Y:50 мм, Z: от 1,5 до 25 мм.наклон: от -5 до +60 градусов, вращение 360 градусов.
Моторизация перемещения столика по 3 осям (X,Y,R); T, Z – по доп. заказу  (опция)
Операционная система Windows X