Исследование поверхности материалов является актуальной задачей в различных областях науки и промышленности. Целью таких исследований обычно является по возможности наиболее полное изучение структуры и состава тонкого (до 1 мкм)  приповерхностного слоя образца. Состав и структура приповерхностного слоя говорят не только о свойствах самого образца, но и об особенности среды, вызвавшей те или иные изменения поверхности.

Приборы для анализа поверхности обычно оснащаются специальными устройствами, которые позволяют осуществлять модификацию поверхности, в том числе травление, чистку, напыление и т.п. Благодаря функции травления появляется возможность изучать образца послойно, строя профиль распределения тех или иных свойств по глубине.

Фирма JEOL выпускает целую линейку (более 20 типов) приборов для исследования поверхности различными методами. Среди этих приборов, конечно же, наибольшую популярность в линейки продукции JEOL получили приборы на основе электронной оптики:

• растровые электронные микроскопы с приставками для микроанализа (см.  о растровых электронных микроскопах JEOL)
• просвечивающие электронные микроскопы (в режиме исследования поверхности) (см. о просвечивающих электронных микроскопах JEOL)
• двухлучевые системы на базе растровых электронных микроскопов (см. о системах со сфокусированным ионным пучком)
• электронно-зондовые микроанализаторы (EPMA)
• Оже-микроанализаторы (см. JAMP-9500F)

Помимо электронно-оптических методов исследования JEOL также предлагает приборы для рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (ЭСХА, XPS) и вторичной ионной масспектрометрии (ВИМС, SIMS).

Широкую линейку приборов дополняют несколько моделей сканирующих зондовых микроскопов, включая как сверхвысоковакуумные модели, так и модели для работы в различных средах или на воздухе.