Термополевая двухлучевая система JIB-4600F
JIB-4600F—гибридная система, сочетающая в себе высокоразрешающий РЭМ и систему со сфокусированным ионным пучком.
РЭМ позволяет позиционировать ионный пучок в место травления с высокой точностью и визуализировать процесс травления с разрешением до 1.2 нм.
Благодаря высокому току зонда (до 200 нА), прибор позволяет эффективно использовать приставки для микроанализа (ЭДС, ДОРЭ), а большое количество портов открывают широкие возможности по дооснащению прибора различными приставками.
Также, непосредственно в камеру образцов данного прибора возможна установка наноманипуляторов серии Omniprobe, которые позволяют производить различные механические манипуляции с модифицируемыми объектами.
Основные характеристики прибора:
|
СФОКУСИРОВАННЫЙ ИОННЫЙ ПУЧОК (СИП) |
|
| Источник ионов | Ga-источник, 5 – 30 кВ, 30 нА (на 30 кВ) |
| Увеличение | x30, х100 – x300,000 |
| Разрешение | 5 нм (при 30 кВ) |
|
РАСТРОВЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП (РЭМ) |
|
| Источник электронов | ZrO/W (100) Шоттки, 0.2 – 30 кВ, 200 нА |
| Увеличение | x50 – x1,000,000 |
| Разрешение | 1.2 нм (30 кВ) 3.0 нм (1 кВ) |
| Столик образцов | гониометрический (X: 50 мм, Y: 50 мм, Z: 1,5-40 мм) |