Система сфокусированного ионного пучка JEM-9320FIB предназначена для модификации образцов тонкосфокусированным пучком ионов галия. Пушка с источником из жидкого галия обеспечивает токи до 30 нА при малом диаметре зонда.

Пучок ионов фокусируется при помощи системы электростатических линз и сканирует поверхность образца, который, в свою очередь, испускает вторичные электроны, результатом детектирования которых являются изображения растровой ионной микроскопии (SIM).

При больших токах пучка JEM-9320FIB производит высокоскоростную точечную модификацию образца путем ионного травления. Вытравливаемая область может являться прямоугольником, линией или точкой.

Прибор может изготавливать тонкие образцы (из широкого класса материалов) для просвечивающих и растровых электронных микроскопов. Также он делает возможным получение поперечных срезов образцов РЭМ.

Основные характеристики прибора: