Оже-микрозонд JAMP-9500F
Оже-микрозонд JAMP-9500F сочетает в себе свойства высокоточного Оже-анализатора с энергетическим разрешением (ΔE/E=0.05%) и хорошего растрового электронного микроскопа с разрешением во вторичных электронах не хуже 3 нм на 24-миллиметровом рабочем отрезке.
Использование термоэмиссионной электронной пушки и высокостабильной электронно-оптической колонны с максимальным током пучка 200 нА открывает широкие аналитические возможности для пользователя JAMP-9500F.
Такое удачное сочетание и продуманная конструкция наделяют прибор целым рядом уникальных свойств:
- возможность картирования по Оже-спектрам с пространственным разрешением не хуже 8 нм, что делает JAMP-9500F настоящим нанозондом, не имеющем аналогов во всем мире;
- возможность травления образцов ионным пучком и исследования их структуры и состава по глубине;
- возможность исследования токонепроводящих материалов;
- возможность изучения локального фазового состава методами Оже-спектроскопии и дифракции отраженных электронов;
- возможность установки энергодисперсионного спектрометра (ЭДС) и проведения точного рентгеноского картирования легких элементов в ультравысоком вакууме (порядка 10-8 Па) без углеродной контаминации;
- возможность «холодного скола» образцов и изучения атомарно чистых поверхностей;
- возможность нагрева образцов до 600 градусов Цельсия;
- и многое другое.