JXA-8530F Hyperprobe – первый в мире электронно-зондовый микроанализатор с катодом Шоттки. Развитие приборной базы ЭЗМА идет по пути уменьшения области анализа (повышения локальности) и сейчас, с помощью JXA-8500F исследователи могут получать результаты, недоступные раньше.
В новом приборе были радикально улучшены вакуумная и электронно-оптическая системы. В результате зонд стал еще тоньше, а плотность тока выше, и это привело к тому, что повысилась локальность анализа и интенсивность сигнала, даже при низких ускоряющих напряжениях. Это также сделало анализ более эффективным, за меньшее время можно получить не только количественный анализ, но и карту распределения элементов высокого качества и т.д.
Таким образом, благодаря радикальному улучшению характеристик, расширяются области использования микрозонда, включая ранее недоступные, такие, как анализ наночастиц, точный количественный анализ низких концентраций элементов, в том числе легких, использование микрозонда в решении задач геохронологии и т.д. На колонну, в дополнение к волновым спектрометрам, можно
установить один энергодисперсионный спектрометр, который позволяет качественный экспресс-анализ всего спектра (10-20 сек), а также количественный анализ основных элементов (60-150 сек), картирование по площади и вдоль линии.
Основные особенности этого прибора:
·  Улучшенные вакуумная система и система электронной оптики
·  Более высокое аналитическое разрешение при уменьшении
ускоряющего напряжения до 3-5 кВ
·  Разрешение во вторичных электронах 3нм
·  Ток зонда до 5 x 10^-7А
·  Различные типы столиков для разных задач
·  Большой выбор волновых спектрометров и кристаллов-
анализаторов
·  Энергодисперсионный спектрометр
·  Улучшенная виброзащита
·  Минимальный шаг перемещения столика составляет 0,2 мкм (опция, в стандартном варианте 0.5 мкм).
·  Оптический микроскоп с цветной телекамерой позволяет наблюдать реальные цвета различных участков образца в оптическом диапазоне (увеличение до 400х).
·  Изображения в отраженных и вторичных электронах с увеличением от 40х до 300 000х.
·  Программное обеспечение для элементного и фазового картирования, количественного анализа методами ZAF, Phi-Rho-Z и Бенса-Олби, анализа частиц, тонких пленок, построения фазовых диаграмм тройных систем и для картирования состава криволинейных поверхностей.
·  Симулятор Монте Карло, для определения оптимальных условий анализа
·  Система автофокусировки (опция)

Основные характеристики микроанализатора JXA-8530F:

Диапазон анализируемых элементов	от 4(Ве) до 92(U)
Диапазон длин волн	от 0,087 до 9,3 нм
Количество волновых спектрометров	от 1 до 5
Количество энергодисперсионных спектрометров	1
Диапазон перемещения столика образцов	по оси X и Y: 100 мм, 100 мм
Точность позиционирования образца	0,5 мкм
Максимальный размер образца	100 мм х 100 мм х 50 мм (В)
Анализируемая область	90 мм х 90 мм
Скорость сканирования столиком образцов	15 мм/сек
Ускоряющее напряжение	От 1 до 30кВ (с шагом 0,1кВ)
Ток зонда	от 10-11А до 5х10-7А
Стабильность тока зонда	± 0,5%/час
Минимальный диаметр зонда	40нм (10кВ, 10-8А) 100нм (10кВ, 10-7А)
Разрешение во вторичных электронах	3 нм (на рабочем отрезке 11мм при 30кВ)
Изображение в отражённых электронах	топографический и композиционный контраст
Увеличение в режиме сканирования	от 40 до 300 000х

Основные характеристики микроанализатора JXA-8530F:
Диапазон анализируемых элементов от 4(Ве) до 92(U)
Диапазон длин волн от 0,087 до 9,3 нм
Количество волновых спектрометров от 1 до 5
Энергодисперсионный спектрометр 1
Диапазон перемещения столика образцов по оси X и Y: 100 мм, 100 мм
Точность позиционирования образца 0,5 мкм
Максимальный размер образца 100 мм х 100 мм х 50 мм (В)
Анализируемая область 90 мм х 90 мм
Скорость сканирования столиком образцов 15 мм/сек
Ускоряющее напряжение От 1 до 30кВ (с шагом 0,1кВ)
Ток зонда от 10-11А до 5х10-7А
Стабильность тока зонда ± 0,5%/час
Минимальный диаметр зонда 40нм (10кВ, 10-8А)
100нм (10кВ, 10-7А)
Разрешение во вторичных электронах 3 нм (на рабочем отрезке 11мм,
30кВ)
Изображение в отражённых электронах топографический и композицион-
ный контраст
Увеличение в режиме сканирования от 40 до 300 000х