Новейшая модель электронно-зондового микроанализатора (микрозонда) JEOL JXA-8230, пятое поколение Суперпроба, является логическим продолжением линейки приборов данного класса JEOL JXA-8100 и JXA-8200 и обладает, по сравнению с ними, рядом новшеств и преимуществ.
Разработчики JEOL работают в тесном сотрудничестве с исследователями, учитывая их рекомендации и пожелания. В итоге такого сотрудничества был создан прибор, сочетающий наилучшие характеристики, широчайшие возможности и простоту управления. Микрозонд предназначен, в первую очередь, для локального количественного анализа большого количества образцов в диапазоне
элементов от бериллия до урана, построения карт распределения элементов по площади, вдоль профиля и т.д. Предел обнаружения для большинства элементов составляет не хуже 10ppm, в зависимости от применяемых стандартов, способа пробоподготовки и
методик измерения.
Электронно-оптическая система с мощной системой стабилизации,
от 1 до 5 волновых спектрометров плюс один энергодисперсионный, большой выбор программного обеспечения, высокоточный гониометрический столик с моторизованным приводом, – все это
позволяет оператору днем только намечать точки для анализа.
Микрозонд проанализирует все в автоматическом режиме. В отли-
чие от приборов предыдущих поколений, новые модели позволяют получать не только анализы, но и изображения высокого качества во вторичных и отраженных электронах, картины катодолюминесценции и картины дифракции отраженных электронов.
·  Простое управление прибором с помощью PC, все основные функции микрозонда автоматизированы
·  Новые спектрометры с большими кристалл-анализаторами имеют более высокую чувствительность при анализе примесей. Что важно, при этом повышается скорость счета без ущерба для энергетического разрешения и отношения пик/фон.
·  Высокое качество спектрометров и кристалл-анализаторов позволяет проводить анализ химического состояния элемента, благодаря эффекту сдвига пиков в зависимости от того, в каком химическом соединении находится анализируемый элемент (т.н. явление химсдвига) и тонкую структуру спектров.
·  Большой выбор спектрометров и кристалл-анализаторов (в том числе, более высокая точность при количественном анализе легких элементов).
·  Минимальный шаг перемещения столика составляет 0,2 мкм (опция, в стандартном варианте 0.5 мкм).
·  Оптический микроскоп с цветной телекамерой позволяет наблюдать реальные цвета различных участков образца в оптическом диапазоне (увеличение до 400х).
·  Изображения в отраженных и вторичных электронах с увеличением от 40х до 300 000х.
·  Программное обеспечение для элементного и фазового картирования, количественного анализа методами ZAF, Phi-Rho-Z и Бенса-Олби, анализа частиц, тонких пленок, построения фазовых диаграмм тройных систем и для картирования состава криволинейных поверхностей.
·  Система автофокусировки (опция).

Основные характеристики микроанализатора JXA-8230: