Телефон:
+7-495-223-4000
Факс:
+7-495-223-4001
E-mail:
main@tokyo-boeki.ru

Jeol JIB-4510

Свяжитесь со специалистом удобным для Вас способом:
(495) 223-40-00 | main@tokyo-boeki.ru
Двухлучевая система
JIB-4510 - представляющая собой многофункциональный растровый электронный микроскоп, оснащенный мощной ионной пушкой. Прибор может одновременно быть использован и в режиме РЭМ, и в режиме ионного микроскопа или системы ионного травления.
Электронно-оптическая колонна JIB-4510 создана по классической, отработанной годами, высоконадежной схеме. Источником электронов является катод из вольфрама или гексаборида лантана. В зависимости от задач заказчик может сам выбрать, с каким источником электронов целесообразнее работать в данный момент, и легко может перейти с вольфрамового катода на гексаборид-лантановый или наоборот. Все катоды предварительно отцентрированы на заводе, и их замена занимает считанные минуты. Конденсорная линза приборов данной серии позволяет плавно менять ток пучка, не меняя при этом положения фокуса. Отклоняющие катушки (дефлекторы) рассчитаны на большие углы отклонения электронного пучка, что делает удобной работу с большими образцами. Диафрагма объективной линзы легко заменяется и центрируется силами оператора, что значительно ускоряет и удешевляет сервисное обслуживание прибора.

Основные преимущества:

  • Надежная электронно-оптическая колонна, использующая конденсорную линзу, которая позволяет плавно менять ток пучка, не меняя при этом положения фокуса;
  • Стабильная, надежная, высокопроизводительная ионная колонна специальной конструкции, позволяющая быстро стравливать большие объемы материала, а в режиме наблюдения обеспечивающая высокое разрешение получаемых изображений (5 нм при использовании ионной пушки и детектора вторичных электронов);
  • Разрешение в режиме РЭМ составляет 2,5 нм при 30 кВ в режиме высокого вакуума и 4 нм при 30 кВ в низковакуумном режиме работы;
  • Возможность выбора оператором катода, в зависимости от решаемых в данный момент задач: дешевый вольфрамовый для рутинной работы или LaB6 для тонких исследований. Катоды взаимозаменяемы, предварительно отцентрированы на заводе, и их замена занимает считанные минуты;
  • Полностью автоматизированная и хорошо защищенная от различных нештатных ситуаций вакуумная система;
  • Возможность работать с газящими или непроводящими образцами в режиме контролируемого пониженного вакуума;
  • Наличие шлюзовой камеры, которая существенно снижает время замены образца, уменьшает загрязнение камеры образцов, электронной и ионной колонн, нивелирует риск повреждения аналитических приставок из-за резких перепадов давления, существенно продлевает срок службы катодов и диафрагм;
  • Возможность напыления образцов углеродом, вольфрамом и платиной;
  • Возможность работы с образцами, уже установленными на держатели растровых и просвечивающих электронных микроскопов без риска повреждения тонких объектов при монтаже-демонтаже;
  • Наличие в программном обеспечении опционального модуля для проведения ионной литографии.
Ионная колонна
Источник ионов галлиевый
Ускоряющее напряжение 1 - 30 кВ
Увеличение x30 (в режиме навигации по образцу)
x100 – x300 000
Разрешение изображений во вторичных электронах 5 нм (при ускоряющем напряжении 30 кВ)
Ток пучка от 0,5 пА до 60 нА (при ускоряющем напряжении 30 кВ)
Электронно-оптическая колонна
Источник электронов Катод на основе монокристалла LaB6
Ускоряющее напряжение 0,3 - 30 кВ
Увеличение x5 – x300 000
Разрешение изображений во вторичных электронах 2,5 нм (при ускоряющем напряжении 30 кВ)
Ток пучка от 1 пА до 1 мкА (при ускоряющем напряжении 30 кВ)
Столик для образцов
Тип столика для образцов Эвцентрический гониометрический столик, моторизованный по 6-ти осям
Диапазоны перемещений столика для образцов Ось X: 76 мм
Ось Y: 76 мм
Ось Z: от 5 до 48 мм
Прецизионное позиционирования по оси Z: 2 мм
Наклон: -5°…+90°
Вращение: 360°, непрерывное
Максимально допустимые размеры образцов Диаметр - 75 мм, высота – 30 мм
Камера образцов
Доступные опции Энергодисперсионный спектрометр (ЭДС)
Спектрометр с дисперсией по длинам волн (ВДС), вертикальный
Система дифракции отраженных электронов (ДОРЭ)
Детектор катодолюминесценции
Микроманипуляторы Omniprobe
Системы напыления образцов углеродом, вольфрамом и платиной
Вакуумная система Сорбционно-ионный насос – 2 шт.
Турбомолекулярный насос – 1 шт.
Форвакуумный насос – 2 шт.
Наверх