Телефон:
+7-495-223-4000
Факс:
+7-495-223-4001
E-mail:
main@tokyo-boeki.ru

Jeol JSM-7100F

Свяжитесь со специалистом удобным для Вас способом:
(495) 223-40-00 | main@tokyo-boeki.ru
Микроскоп с полевой эмиссией
JSM-7100F - сканирующий электронный микроскоп с катодом Шоттки. Для работы с наноразмерными образцами. Совмещает высокую разрешающую способность необходимую для получения высокого разрешения при больших увеличениях при визуальном исследования образцов.
Благодаря уникальной конструкции электронно-оптической колонны достигается высокая стабильность пучка во времени, что очень важно при использовании методов энергодисперсионного анализа, волнодисперсионного анализа, дифракции обратно рассеянных электронов, катодолюминисценции

В электронно-оптической колонне микроскопа JEOL JSM 7100F реализована In-lens схема расположения катода, что позволяет с высокой эффективностью отбирать электроны эмитируемые с катода и поддерживать высокий ток пучка, и линзы с оптимальным углом апертуры для формирования тонкого зонда, даже при высоких токах

Микроскоп в базовой конфигурации оснащается высокоэффективным детектором вторичных электронов и детектором обратно отраженных электронов и системой Gentle Beam (GB) которая позволяет улучшить разрешение при низких ускоряющих напряжениях. В конфигурации JSM7500TTL помимо вышеперечисленных детекторов устанавливаются 2 Through the Lens (TTL) детектора. Они располагаются непосредственно внутри колонны и их использование позволяет улучшить разрешение.

Микроскоп JEOL JSM7100F позволяет исследовать непроводящие образцы методом ЭДС и ДОРЭ при высоких ускоряющих напряжениях в режиме низкого вакуума. Давление в камере может регулироваться в пределах от 10 до 300 Па.

Благодаря используемой в данном микроскопе электронно-оптической колонне, которая позволяет работать с пучком малого диаметра и большим током, возможно построение карт распределения элементов при малых ускоряющих напряжениях, что обеспечивает получение результат с очень большой локальностью.

Модификация JSM-7100F JSM-7100F/TTL JSM-7100F/LV
Разрешение 1,2 нм (30 кВ),
3,0 нм (1 кВ),
3,0нм (15 кВ, 5 нА, рабочий отрезок 10 мм)
1,2 нм (30 кВ),
2,0 нм (1 кВ),
3,0нм (15 кВ, 5 нА, рабочий отрезок 10 мм)
1,2 нм (30 кВ),
3,0 нм (1 кВ),
3,0нм (15 кВ, 5 нА, рабочий отрезок 10 мм)
Увеличение X10- x1 000 000
Ускоряющее напряжение 200 В - 30 кВ 100 В - 30 кВ 200 В - 30 кВ
Ток пучка 1 пА - 200 нА 1 пА - 200 нА
1 пА - 20 нА (с установленной горловиной)
Линза, оптимизирующая угол вхождения пучка в диафрагму Встроена по умолчанию
Энергетический фильтр отсутствует Встроен. Управляется напряжением отсутствует
Режим торможения пучка «Gentle Beam» Доступен в базовой комплектации
Предметный столик Эвцентрический гониометрический столик
Моторизованный по 5-ти осям
Диапазон перемещений: X: 70 мм, Y: 50мм
Наклон: от -5° до 70°
Вращение: 360°
Диапазон рабочих отрезков от 2 до 41 мм
Вакуумный шлюз Входит в базовую комплектацию
Низковакуумный режим недоступен доступен
Вакуумная система Полностью автоматизирована
Ионный насос — 2 шт.
Турбомолекулярный насос — 1 шт.
Форвакуумный ротационный насос — 1 шт. Форвакуумный ротационный насос — 2 шт.
Наверх