Cross-Section Polisher IB-09020CP оборудован CCD камерой, позволяющей наблюдать за процессом травления в диапазоне увеличений 20х – 100х. Это позволяет контролировать процесс травления для достижения наилучшего результата.
Управление Cross-Section Polisher IB-09020CP осуществляется с помощью сенсорного экрана.
Дополнительно, CP может быть оборудован 8 кВ источником, а так же вращающимся держателем образцов. Подробно примеры применения Cross-Section Polisher IB-09020CP описаны здесь.
Ускоряющее напряжение | 2 ~ 6кВ |
Диаметр пучка | 500?м (FWHM) |
Скорость травления | 100?м / ч (в среднем за 2 часа, ускоряющее напряжение: 6kВ, эквивалент кремний, расстояние от источника: 100?м) |
Максимальный размер образца | 11мм (ширина) ? 10мм (длина) ? 2мм (толщина) |
Диапазон перемещения образца | По оси X ± 10мм, по оси Y ± 3mm |
Точность предустановки наклона образца | ± 5 ? |
Угол колебания образца в ходе травления | ± 30 ? (заявка на патент) |
Управление | Сенсорный экран |
Используемый газ | Аргон (скорость потока управляется контроллером потока) |
Измерение давления | Магнитный электроразрядный вакуумметр |
Основная откачивающая система | Турбо-молекулярный насос |
Вспомогательная откачивающая система | Форвакуумный насос |
Габариты | Установка: 545 мм (ширина) ? 550 мм (глубина) ? 420 мм (высота) 64кг |
форнасос: 150 мм (ширина) ? 427 мм (глубина) ? 230 мм (высота) 16кг | |
Дополнения | 8 кВ источник |
держатель образцов с вращением |