| Тип напыления: | Магнетронный |
| Рабочее давление | Не более 20 Pa |
| Ионный ток | Предустановленные значения 10, 20, 30, 40 мА |
| Мишень | Pt (стандарт), диаметр 57 мм |
| Столик для образцов | диаметр 64мм |
| Вакуумная камера | 120мм (диаметр)х 100мм (высота), стеклянный колпак |
| Измерение уровня вакуума | С цифровым дисплеем, измерение с помощью датчика Пирани |
| Таймер | С цифровым дисплеем, отсчет от 1 до 300сек |
| Управление потоком газа | Встроено |
| Функция продувки аргоном | Встроена (автоматический и ручной режимы) |
| Схема безопасности высокого напряжения | Встроена |
| Система откачки | Ротационный насос с прямым приводом, 100л/мин |
| Сеть | Одна фаза, 100В, 50Гц, 300ВА |
| Температура окружающей среды | 25 ± 5°С |
| Размеры блоков | 300мм хм380мм х 290мм (основной блок) 225мм х 525мм х 320мм (ротационный насос) |
| Массы блоков | 11 кг (основной блок) 23 кг (ротационный насос) |
| Основные опции | Столик для вращения и наклона образцов при напылении EC-30020RTS Понижающий трансформатор SDT-05 |
