Телефон:
+7-495-223-4000
Факс:
+7-495-223-4001
E-mail:
main@tokyo-boeki.ru

Jeol JEM-2800

Свяжитесь со специалистом удобным для Вас способом:
(495) 223-40-00 | main@tokyo-boeki.ru
Высокопроизводительный ПЭМ, РПЭМ, РЭМ
JEM-2800 - с автоматизированным управлением, которое делает его идеальным прибором для контроля различных стадий технологического процесса и качества выпускаемых изделий в полупроводниковой промышленности, также для материаловедческих целей.
Этот универсальный ПЭМ получает микрофотографии в режимах просвечивающего, растрового просвечивающего и растрового микроскопов, проводит высокочувствительный элементный анализ при помощи широкоуглового энергодисперсионного спектрометра (ЭДС) и химический анализ с использованием спектрометра характеристических потерь энергии электронов, позволяет оценивать размеры компонент, проводить томографию и «in situ»-наблюдения за образцами. JEM-2800 полностью удовлетворяет требованиям для работы в чистых помещениях.
Разрешение
В режиме РЭМ 0,5 нм (при ускоряющем напряжении 200 кВ)
В режиме РПЭМ 0,2 нм (при ускоряющем напряжении 200 кВ)
В режиме ПЭМ (по решетке) 0,1 нм (при ускоряющем напряжении 200 кВ)
Увеличение (при использовании 24-дюймового дисплея)
РЭМ (MAG) от 100 до 150,000,000 крат
ПРЭМ (MAG) от 100 до 150,000,000 крат
ПЭМ (MAG) от 500 до 20,000,000 крат
Источник электронов
Тип эмиттера Термополевой эмиттер Шоттки
Ускоряющее напряжение 100 кВ – 200 кВ
Столик образцов
Тип столика Эвцентрический с боковым вводом образца, с пьезоподвижкой
Диаметр образца 3 мм
Углы наклона X: ±25° Y: ±30° (при использовании держателя с двойным наклоном)
Диапазоны перемещений X, Y: ±1,0 мм; Z: ±0,2 мм
Устанавливаемые приставки
Цифровая ПЗС-камера Энергодисперсионный спектрометр Спектрометр характеристических потерь энергии электронов
Наверх