Основные преимущества:
Ионная колонна | |
---|---|
Источник ионов | галлиевый |
Ускоряющее напряжение | 1 - 30 кВ |
Увеличение | x30 (в режиме навигации по образцу) x100 – x300 000 |
Разрешение изображений во вторичных электронах | 5 нм (при ускоряющем напряжении 30 кВ) |
Ток пучка | от 0,5 пА до 60 нА (при ускоряющем напряжении 30 кВ) |
Электронно-оптическая колонна | |
Источник электронов | Катод на основе монокристалла LaB6 |
Ускоряющее напряжение | 0,3 - 30 кВ |
Увеличение | x5 – x300 000 |
Разрешение изображений во вторичных электронах | 2,5 нм (при ускоряющем напряжении 30 кВ) |
Ток пучка | от 1 пА до 1 мкА (при ускоряющем напряжении 30 кВ) |
Столик для образцов | |
Тип столика для образцов | Эвцентрический гониометрический столик, моторизованный по 6-ти осям |
Диапазоны перемещений столика для образцов |
Ось X: 76 мм Ось Y: 76 мм Ось Z: от 5 до 48 мм Прецизионное позиционирования по оси Z: 2 мм Наклон: -5°…+90° Вращение: 360°, непрерывное |
Максимально допустимые размеры образцов | Диаметр - 75 мм, высота – 30 мм |
Камера образцов | |
Доступные опции |
Энергодисперсионный спектрометр (ЭДС) Спектрометр с дисперсией по длинам волн (ВДС), вертикальный Система дифракции отраженных электронов (ДОРЭ) Детектор катодолюминесценции Микроманипуляторы Omniprobe Системы напыления образцов углеродом, вольфрамом и платиной |
Вакуумная система |
Сорбционно-ионный насос – 2 шт. Турбомолекулярный насос – 1 шт. Форвакуумный насос – 2 шт. |