Гибридная коническая объективная линза JSM-7200F является комбинацией электромагнитной и электростатической линз. Ее конструкция позволяет полностью исключить воздействие магнитного поля линзы на образец, что очень важно для исследования магнитных материалов, а также для получения картин дифракции отраженных электронов. Энергетический фильтр и так называемая система TTL (“through-the-lens”), встроенная в электронную колонну JSM-7200F базовой комплектации, позволяет получать изображения, используя электроны только с определенными энергиями. Это дает возможность оператору РЭМ JSM-7200F получать массу дополнительной информации об объектах исследований.
Разрешение в режиме высокого вакуума | 1,2 нм (30 кВ), 1,6 нм (1 кВ), 3,0 нм (15 кВ, 5 нА, рабочий отрезок 10 мм) |
Разрешение в режиме низкого вакуума | 1,8 нм (30 кВ, 30 пА) |
Тип катода | Термополевой (Шоттки) |
Увеличение | х10- x1 000 000 |
Ускоряющее напряжение | 10 В - 30 кВ |
Ток пучка | 1 пА - 300 нА |
Линза, оптимизирующая угол вхождения пучка в диафрагму | Встроена по умолчанию |
Энергетический фильтр | Доступен в базовой комплектации |
Предметный столик | Эвцентрический гониометрический столик |
Моторизованный по 5-ти осям | |
Диапазон перемещений: X: 35 мм, Y: 50 мм, Z: 39 мм | |
Наклон: от -5° до 70° | |
Вращение: 360°, непрерывное | |
Диапазон рабочих отрезков | от 2 до 41 мм |
Вакуумный шлюз | Входит в базовую комплектацию |
Низковакуумный режим | Доступен |
Давление в камере образцов при работе в низковакуумном режиме | От 10 до 300 Па |
Вакуумная система | Полностью автоматизирована |
Ионный насос — 2 шт. | |
Турбомолекулярный насос — 1 шт. | |
Форвакуумный ротационный насос — 2 шт. | |
Устанавливаемые опции | Энергодисперсионный спектрометр |
Спектрометр с дисперсией по длинам волн | |
Система дифракции отраженных электронов | |
Система катодолюминесценции | |
Наноманипуляторы | |
Детектор тока, индуцированного пучком (EBIC) | |
Система РЭМ-томографии Gatan 3View | |
Спектрометр мягкого рентгеновского излучения |