Основные преимущества:
Разрешение в режиме высокого вакуума |
4,0 нм (20 кВ), 8,0 нм (3 кВ), 15,0 нм (1 кВ) 3,0 нм (30 кВ)* |
Разрешение в режиме низкого вакуума | 5,0 нм (20 кВ, детектор отраженных электронов) 4,0 нм (30 кВ)* |
Тип катода | Термоэмиссионный, вольфрамовый, предварительно центрированный на заводе |
Увеличение | х5- x300 000 (в пересчете на размеры фотопластины 128х96мм) |
Ускоряющее напряжение | 0,5 - 20 кВ 0,5 - 30 кВ* |
Предметный столик | Эвцентрический гониометрический столик Моторизованный по 2, 3 или 5-ти осям* Диапазон перемещений: X: 80 мм, Y: 40 мм, Z: 43 мм Наклон: от -10° до 90° Вращение: 360°, непрерывное |
Диапазон рабочих отрезков | от 5 до 48 мм |
Вакуумный шлюз | Опция |
Низковакуумный режим | Доступен |
Давление в камере образцов при работе в низковакуумном режиме | От 10 до 100 Па |
Вакуумная система | Полностью автоматизирована Турбомолекулярный насос - 1 шт. Форвакуумный ротационный насос - 2 шт. (в конфигурации LV/LA)- 1 шт. (в высоковакуумной конфигурации) |
Формат регистрируемых изображений | BMP, TIFF, JPEG |
Формат регистрируемых видеороликов | AVI |
Устанавливаемые опции |
Энергодисперсионный спектрометр Система катодолюминесценции Наноманипуляторы Детектор тока, индуцированного пучком (EBIC) Столики образцов с функциями охлаждения и нагрева Столик образцов для механических испытаний |