Телефон:
+7-495-223-4000
Факс:
+7-495-223-4001
E-mail:
main@tokyo-boeki.ru

Системы химического осаждения из паров металлоорганических соединений (MOCVD)

Свяжитесь со специалистом удобным для Вас способом:
(495) 223-40-00 | main@tokyo-boeki.ru

Японская компания EIKO Co. проектирует и создает специальные системы химического осаждения из паров металлоорганических соединений (MOCVD) по особые требования своих пользователей, что обеспечивает высококачественное осаждение и выращивание материалов на основе газообразных металлоорганических соединений.
По требованию заказчика система MOCVD может состоять из нескольких модулей:

1) Камера эпитаксиального роста.
2) Камера загрузочной системы.
3) Камера предварительной обработки.
4) Система управления и подачи газами.

Уникальная система управления газами обеспечивает прецизионную подачу газовой смеси высокой чистоты в модуль эпитаксиального роста. Запатентованная система инжекторов паров металлоорганических соединений обеспечивает минимальный расход газов во время процесса выращивания на подложках до 6-ти дюймов.

Наверх