Системы химического осаждения из паров металлоорганических соединений (MOCVD)

Свяжитесь со специалистом удобным для Вас способом:
(495) 223-40-00 | main@tokyo-boeki.ru

Японская компания EIKO Co. проектирует и создает специальные системы химического осаждения из паров металлоорганических соединений (MOCVD) по особые требования своих пользователей, что обеспечивает высококачественное осаждение и выращивание материалов на основе газообразных металлоорганических соединений.

По требованию заказчика система MOCVD может состоять из нескольких модулей:

1) Камера эпитаксиального роста.
2) Камера загрузочной системы.
3) Камера предварительной обработки.
4) Система управления и подачи газами.

Уникальная система управления газами обеспечивает прецизионную подачу газовой смеси высокой чистоты в модуль эпитаксиального роста. Запатентованная система инжекторов паров металлоорганических соединений обеспечивает минимальный расход газов во время процесса выращивания на подложках до 6-ти дюймов.

Системы химического осаждения из паров металлоорганических соединений (MOCVD)

Контакты:

Электронная форма запроса: